球状半導体（読み）キュウジョウハンドウタイ

化学辞典 第2版

球状半導体
キュウジョウハンドウタイ
ball semiconductor

従来用いられている平板状の半導体の集積度を，さらに向上するために考えられた球状をした半導体基盤のこと．平面のシリコン基板に比べて安価にでき，表面積の大きいシリコン球に集積回路をつくることで，集積度をあげようとするもの．従来の平面上に作製する技術がそのまま適用できないため，球面に対応した新しい技術開発が今後の鍵となる．溶融させたシリコンを，パイプのなかを落下させることでシリコン球をつくり，パイプのなかを移動させてプロセスを行うので，従来のようなクリーンルームを必要としない．リソグラフィーは3Dのコンピューターグラフィック技術を用いてマスクを転写して行う．

出典　森北出版「化学辞典（第2版）」