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真空装置 しんくうそうちvacuum apparatus

ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典の解説

真空装置
しんくうそうち
vacuum apparatus

真空をつくるために必要な装置。容器はガラスまたはステンレス鋼その他の耐圧金属材料が普通で,配管はガラス,ステンレス鋼管などが使われる。予備真空用には通常は厚肉の特殊なゴム管を用いる。真空度 1~10-1Pa 程度の真空度の場合には,機械的に排気する油回転ポンプでよいが,10-1Pa 程度以上の真空度を必要とするときには,油拡散ポンプ (→拡散ポンプ ) ,さらに高度の真空として 10-6Pa 程度のものをつくるためには,イオンポンプ (ゲッターによる吸着を利用するもの) などを用いなければならない。しかし,このような高度真空用ポンプはあらかじめ補助ポンプを使って,ある程度真空にしておかなければ作動しない。このための補助ポンプとしては,油回転ポンプなどが多く用いられる。

出典|ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典について | 情報

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