真空装置（読み）しんくうそうち（その他表記）vacuum apparatus

ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典

真空装置
しんくうそうち
vacuum apparatus

真空をつくるために必要な装置。容器はガラスまたはステンレス鋼その他の耐圧金属材料が普通で，配管はガラス，ステンレス鋼管などが使われる。予備真空用には通常は厚肉の特殊なゴム管を用いる。真空度 1～10^-1Pa 程度の真空度の場合には，機械的に排気する油回転ポンプでよいが，10^-1Pa 程度以上の真空度を必要とするときには，油拡散ポンプ (→拡散ポンプ ) ，さらに高度の真空として 10^-6Pa 程度のものをつくるためには，イオンポンプ (ゲッターによる吸着を利用するもの) などを用いなければならない。しかし，このような高度真空用ポンプはあらかじめ補助ポンプを使って，ある程度真空にしておかなければ作動しない。このための補助ポンプとしては，油回転ポンプなどが多く用いられる。

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