縮小投影型露光装置 NSR-1505G2Aとは

事典日本の地域遺産の解説

(埼玉県熊谷市 (株)ニコン熊谷製作所)
「重要科学技術史資料(未来技術遺産)」指定の地域遺産〔第00022号〕。
ステッパーと呼ばれる縮小投影露光装置の256キロビット超LSIラインに採用された最初期の装置。〈製作者(社)〉株式会社ニコン。〈製作年〉1984(昭和59)年

出典　日外アソシエーツ「事典日本の地域遺産」事典日本の地域遺産について　情報