遠紫外線レジスト（読み）エンシガイセンレジスト

デジタル大辞泉

えんしがいせん‐レジスト〔ヱンシグワイセン‐〕【遠紫外線レジスト】

遠紫外線を光源とするフォトレジスト。KrF（クリプトン・弗素ふっそ、波長248ナノメートル）、ArF（アルゴン・弗素ふっそ、波長193ナノメートル）のエキシマレーザーなどが用いられる。

出典　小学館