遠紫外線レジスト(読み)エンシガイセンレジスト

デジタル大辞泉 「遠紫外線レジスト」の意味・読み・例文・類語

えんしがいせん‐レジスト〔ヱンシグワイセン‐〕【遠紫外線レジスト】

遠紫外線光源とするフォトレジスト。KrF(クリプトン弗素ふっそ、波長248ナノメートル)、ArF(アルゴン弗素ふっそ、波長193ナノメートル)のエキシマレーザーなどが用いられる。

出典 小学館デジタル大辞泉について 情報 | 凡例

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