遠紫外線レジスト（読み）エンシガイセンレジスト

デジタル大辞泉「遠紫外線レジスト」の意味・読み・例文・類語

遠紫外線を光源とするフォトレジスト。KrF（クリプトン・弗素ふっそ、波長248ナノメートル）、ArF（アルゴン・弗素ふっそ、波長193ナノメートル）のエキシマレーザーなどが用いられる。

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