エキシマレーザー（英語表記）excimer laser

ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典

エキシマレーザー
excimer laser

励起状態にある原子と基底状態にある原子によって構成されているエキシマと呼ばれる励起状態の分子が，2つの原子に解離する際に光を放出するのを利用したレーザー。成分原子の混合気体中の放電によって作られたエキシマの誘導放出によって，短波長可視，紫外域でパルス発光する。 KrF，XeCl，ArFエキシマが発光出力が大きいためよく利用される。

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