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電子ビーム露光 でんしビームろこう electron beam exposure

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ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典の解説

電子ビーム露光
でんしビームろこう
electron beam exposure

感光剤を光で露光する代りに,電子ビームの照射で露光する方法。電子ビームの照射によって引起される重合,分解などの化学反応を利用する。感光剤は光露光の場合と同じものが用いられ,露光後の現像などの処理も光露光と同じである。

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出典|ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典
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