高温ポリシリコン（読み）コウオンポリシリコン

デジタル大辞泉

こうおん‐ポリシリコン〔カウヲン‐〕【高温ポリシリコン】

セ氏1000度以上で形成する多結晶シリコン。アモルファスシリコンを再結晶させることで形成する。高温に耐える石英ガラス基板を使用する必要があり、製造コストが高く、大型化が困難という欠点をもつ。HTPS（high temperature polysilicon）。→低温ポリシリコン

出典　小学館