低温ポリシリコン（読み）テイオンポリシリコン

デジタル大辞泉

ていおん‐ポリシリコン〔テイヲン‐〕【低温ポリシリコン】

セ氏600度以下で形成できる多結晶シリコン。薄膜トランジスター（TFT）の基板を製造する際、石英ガラス基板を必要とする高温ポリシリコンに比べ、安価なガラス基板を用いることができ、大型化が容易という利点がある。LTPS（low temperature polysilicon）。

出典　小学館