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3次元回路素子 さんじげんかいろそしthree-dimensional integrated circuits device

ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典の解説

3次元回路素子
さんじげんかいろそし
three-dimensional integrated circuits device

素子を3次元的に配置し,超高集積化・高機能化を狙った LSI。半導体層と絶縁膜,配線を交互に積層して形成する。単なる素子の高集積化だけではなく,各半導体層ごとにセンサプロセッサ,メモリなどと空間を効率よく利用することで,高速化も実現できる。技術的には,絶縁層上に高品質の半導体層を形成することが最大の課題である。レーザーを使って絶縁膜上の半導体を再結晶化させる「SOI (シリコンオンインシュレータ) 技術」が研究されている。

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