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3次元回路素子 さんじげんかいろそし three-dimensional integrated circuits device

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ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典の解説

3次元回路素子
さんじげんかいろそし
three-dimensional integrated circuits device

素子を3次元的に配置し,超高集積化・高機能化を狙った LSI半導体層と絶縁膜,配線を交互に積層して形成する。単なる素子の高集積化だけではなく,各半導体層ごとにセンサプロセッサメモリなどと空間を効率よく利用することで,高速化も実現できる。

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出典|ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典
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