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SOI構造 エスオーアイこうぞうsilicon-on-insulator structure

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ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典の解説

SOI構造
エスオーアイこうぞう
silicon-on-insulator structure

絶縁体基板の上にシリコン単結晶層を形成し,そこに半導体集積回路を作り込んだ構造。素子と素子の間が電気的に完全分離されているので素子間の耐圧が高く,また相互の干渉がない。 CMOS集積回路SOI構造で作ると,ラッチアップ現象を本質的に回避できる。

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出典|ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典
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