SOI(読み)エスオーアイ

デジタル大辞泉 「SOI」の意味・読み・例文・類語

エス‐オー‐アイ【SOI】[silicon on insulator]

silicon on insulatorシリコン基板上に薄い絶縁層を介して、シリコンの単結晶薄膜を形成し、この薄膜上に二次元的に広がった形で作製されたシリコンデバイス。従来のものに比して素子間のアイソレーションが取れ、動作が二次元的となるので、設計性がよくなる。

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ASCII.jpデジタル用語辞典 「SOI」の解説

SOI

1998年に米IBM社が発表した新しい半導体チップ製造プロセス技術。トラジジスタとシリコン層との間に、薄いシリコン酸化膜(絶縁膜)を形成することにより、シリコン層に滞留する電気を防ぎ、トランジスタ電気伝導率を向上させるもの。このSOIの技術の導入により、消費電力が少なく、高速なデータ転送が可能な半導体チップの製造が可能となった。

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