SECS(読み)セクス(その他表記)SECS

デジタル大辞泉 「SECS」の意味・読み・例文・類語

セクス【SECS】[SEMI equipment communications standard]

SEMI equipment communications standard》半導体製造工場において、コンピューターシステム半導体製造装置および検査装置の間の通信で用いられるプロトコル国際半導体製造装置材料協会SEMI)が仕様策定イーサネットなどでTCP/IPによるシリアル伝送の通信を行う。半導体製造装置通信スタンダード。

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