SECS（読み）セクス（その他表記）SECS

デジタル大辞泉

セクス【SECS】［SEMI equipment communications standard］

《SEMI equipment communications standard》半導体製造工場において、コンピューターシステムと半導体製造装置および検査装置の間の通信で用いられるプロトコル。国際半導体製造装置材料協会（SEMI）が仕様を策定。イーサネットなどでTCP/IPによるシリアル伝送の通信を行う。半導体製造装置通信スタンダード。

出典　小学館