軟X線効果とは？意味や使い方

法則の辞典「軟X線効果」の解説

熱陰極電離真空計において，グリッド‐陰極間にかけられた電圧で加速された電子が，グリッドで制動放射によるX線を生じるため，これがイオンコレクタに衝突すると光電子を生じ，あたかも正の符号のイオンが入射したかのような効果を与える．この効果は測定可能な圧力限界を定める主要原因となる．

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