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レーザー干渉測長器 レーザーかんしょうそくちょうきlaser interferometer

ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典の解説

レーザー干渉測長器
レーザーかんしょうそくちょうき
laser interferometer

レーザー光線の干渉を用いて長さの精密測定をする計器。片面を半透明に銀メッキした精密な2枚の平面ガラス板を平行からわずか傾けて向かい合わせ,面に垂直にレーザー光線を照射すると透過光と反射光に分れた2つの光が両ガラス板を通過する経路に差があるため,光路差が光の波長の半分の奇数倍となる位置は暗く,偶数倍となる位置は明るい明暗の干渉縞 (しま) が現れる。この干渉縞の間隔とレーザー光線の波長から両面間の距離を精度 0.01μm以下で測定できる。最近の精密加工では1μm以下の精度を要求されることも多く,加工の際の寸法測定に高精度の測定用ブロックゲージが用いられる。このブロックゲージ自身の寸法の精密測定に用いられるのがレーザー干渉測長器である。

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