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分子線エピタクシー ぶんしせんエピタクシー molecular beam epitaxy

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ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典の解説

分子線エピタクシー
ぶんしせんエピタクシー
molecular beam epitaxy

超高真空 ( 10-9 トル以下) 中で蒸発分子をノズル,あるいはスリットからビーム状にして基板結晶上に到達させ,良好な単結晶を製作するエピタキシャル技術の一つ。通常,蒸発源のるつぼ (クヌーセン・セルと呼ぶ) は液体窒素 (沸点-196℃) で冷却した蒸発室内に納められている。

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出典|ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典
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