分析電子顕微鏡（読み）ぶんせきでんしけんびきょう

最新 地学事典

ぶんせきでんしけんびきょう
分析電子顕微鏡

analytical electron microscope

透過型電子顕微鏡で，試料から出てくる特性X線をとらえて化学分析ができる電子顕微鏡。AEMと略称。ふつうエネルギー分散型スペクトロメーター（EDS）を装着する。STEMモードあるいはTEMモードで電子線を小さく絞り，試料に照射する。装置によってはnm程度に絞った電子線を使えるので，X線マイクロアナライザーに比べて2～3桁小さい微小部の組成分析が可能。理想的薄膜と仮定すると定量分析はCliff-Lorimerの式，C₁/C₂＝k₁₂I₁/I₂（2種の元素1, 2について，C₁, C₂は重量％濃度，I₁, I₂はX線強度，k₁₂は固有な係数でK-ファクターともいう）に基づく。

執筆者：赤井 純治

出典　平凡社「最新 地学事典」