感圧ダイオード（読み）かんあつダイオード（英語表記）pressure sensitive diode

ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典

感圧ダイオード
かんあつダイオード
pressure sensitive diode

プレッシャーダイオード。圧力の変化によって電気抵抗が変る半導体素子。 (1) ピエゾ抵抗方式，(2) ショットキー障壁方式，(3) p-n接合方式に分類される。 (1) では，単位のひずみによる抵抗の変化分をゲージ率と呼び，材料の弾性的性質と形状によって決定される。 (2) および (3) では，局部的に圧力を加えると，その特性が大きく変化するので感度がよいとされている。特に 1968年に松下電器が開発した MPS (Matsushita Pressure Sensitive)ダイオードは，ショットキー障壁を利用し，半導体に深い不純物準位を添加して製作されており，高感度であることで有名である。扇風機の無接点スイッチ，レコードプレーヤのピックアップ，重量計などに利用されている。

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