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気相成長 きそうせいちょう vapour phase growth

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ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典の解説

気相成長
きそうせいちょう
vapour phase growth

気相 (ガス状態) から固体を析出させて成長させること。蒸着法,分子線エピタクシー法,昇華法のような物理的な方法と,熱分解,化学的気相析出法 (CVD法) のような化学的な方法など種類は非常に多い。

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出典|ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典
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