薄膜単結晶（読み）ハクマクタンケッショウ

化学辞典 第2版

薄膜単結晶
ハクマクタンケッショウ
thin film single crystal

薄い単結晶膜のこと．ベースとなる結晶の上に，気相より真空蒸着法，陰極スパッター法，昇華法，あるいは気相反応法によって目的とする物質をエピタキシャル成長(エピタキシー)させて得られる．半導体の場合は，面積がおよそ数 cm²，厚みが数 μm 程度の単結晶膜で，トランジスター，ダイオード，クライオトロンなどに用いられる．

出典　森北出版「化学辞典（第2版）」