薄膜単結晶(読み)ハクマクタンケッショウ

化学辞典 第2版 「薄膜単結晶」の解説

薄膜単結晶
ハクマクタンケッショウ
thin film single crystal

薄い単結晶膜のこと.ベースとなる結晶の上に,気相より真空蒸着法,陰極スパッター法,昇華法,あるいは気相反応法によって目的とする物質エピタキシャル成長(エピタキシー)させて得られる.半導体の場合は,面積がおよそ数 cm2,厚みが数 μm 程度の単結晶膜で,トランジスター,ダイオード,クライオトロンなどに用いられる.

出典 森北出版「化学辞典(第2版)」化学辞典 第2版について 情報

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