水晶膜厚計（読み）スイショウマクアツケイ

デジタル大辞泉「水晶膜厚計」の意味・読み・例文・類語

水晶の固有振動数の変化から水晶表面に堆積した物質の厚さを計測する膜厚計。蒸着やスパッタリングによる薄膜の厚さの測定に用いられる。

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