蒸着(読み)じょうちゃく

日本大百科全書(ニッポニカ)「蒸着」の解説

蒸着
じょうちゃく

物質を高温にして蒸発させ、この蒸気を当てて物質を薄膜状につける方法をいう。これは一般に真空中で行うことが多い。これを真空蒸着という。蒸発させる材料をタングステンのフィラメントにのせ、近くに蒸着させる基板を置く。フィラメントに電流を流して加熱して材料を蒸発させると、基板には材料の薄膜ができる。材料の蒸発には、電子ビーム照射、高周波誘導加熱あるいは放電加熱などの方法も用いられる。蒸着は金属の薄膜の生成に有用で、半導体素子における導体や抵抗体薄膜、磁気記録用のテープ、ディスクの金属磁性薄膜の製造などに用いられている。

[本間基文]

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精選版 日本国語大辞典「蒸着」の解説

じょう‐ちゃく【蒸着】

〘名〙 蒸発させて付けること。特に、金属被膜を真空蒸着によって作ることをいう。
※生物と無生物の間(1956)〈川喜多愛郎〉三「前記の金属蒸着を行えば」

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世界大百科事典内の蒸着の言及

【集積回路】より

…(1)ウェーハー表面に特定の種類の薄膜を形成すること。これには,酸化,化学的膜形成,蒸着,スパッターリングなどの方法がある。(2)特定の種類のガス雰囲気中で高温状態にすること。…

※「蒸着」について言及している用語解説の一部を掲載しています。

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