蒸着（読み）ジョウチャク

デジタル大辞泉

じょう‐ちゃく【蒸着】

［名］(スル)真空中で金属などを加熱・蒸発させ、その蒸気を他の物質の表面に薄い膜として付着させること。真空蒸着。

出典　小学館

精選版 日本国語大辞典

じょう‐ちゃく【蒸着】

1. 〘 名詞 〙 蒸発させて付けること。特に、金属被膜を真空蒸着によって作ることをいう。
   1. [初出の実例]「前記の金属蒸着を行えば」(出典：生物と無生物の間（1956）〈川喜多愛郎〉三)

出典　精選版 日本国語大辞典

最新 地学事典

じょうちゃく
蒸着

vapor deposition

気相から基板に衝突した元素による薄膜の形成。通常は目的の物質を真空中で蒸発させ，離れた場所にある基板上に蒸発物質の薄膜を形成する。このとき，平均自由行程は蒸発源と基板との距離よりも十分に大きい必要がある。また，基板温度は蒸着物質の平衡蒸気圧が十分小さくなる温度である必要がある。代表例は，走査型電子顕微鏡観察を行う際に試料の帯電を低減する目的で事前に行う，試料上への炭素などの薄膜の形成。

執筆者：木村 勇気・砂川 一郎

参照項目：エピタキシー

出典　平凡社「最新 地学事典」

日本大百科全書(ニッポニカ)

蒸着
じょうちゃく

物質を高温にして蒸発させ、この蒸気を当てて物質を薄膜状につける方法をいう。これは一般に真空中で行うことが多い。これを真空蒸着という。蒸発させる材料をタングステンのフィラメントにのせ、近くに蒸着させる基板を置く。フィラメントに電流を流して加熱して材料を蒸発させると、基板には材料の薄膜ができる。材料の蒸発には、電子ビーム照射、高周波誘導加熱あるいは放電加熱などの方法も用いられる。蒸着は金属の薄膜の生成に有用で、半導体素子における導体や抵抗体薄膜、磁気記録用のテープ、ディスクの金属磁性薄膜の製造などに用いられている。

［本間基文］

出典　小学館　日本大百科全書(ニッポニカ)

ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典

蒸着
じょうちゃく

「真空蒸着」のページをご覧ください。

出典　ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典

世界大百科事典（旧版）内の蒸着の言及

【集積回路】より

…(1)ウェーハー表面に特定の種類の薄膜を形成すること。これには，酸化，化学的膜形成，蒸着，スパッターリングなどの方法がある。(2)特定の種類のガス雰囲気中で高温状態にすること。…

※「蒸着」について言及している用語解説の一部を掲載しています。

出典｜株式会社平凡社「世界大百科事典（旧版）」