蒸着（読み）ジョウチャク

デジタル大辞泉

じょう‐ちゃく【蒸着】

［名］(スル)真空中で金属などを加熱・蒸発させ、その蒸気を他の物質の表面に薄い膜として付着させること。真空蒸着。

出典　小学館

精選版 日本国語大辞典

じょう‐ちゃく【蒸着】

1. 〘 名詞 〙 蒸発させて付けること。特に、金属被膜を真空蒸着によって作ることをいう。
   1. [初出の実例]「前記の金属蒸着を行えば」(出典：生物と無生物の間（1956）〈川喜多愛郎〉三)

出典　精選版 日本国語大辞典

日本大百科全書(ニッポニカ)

蒸着
じょうちゃく

物質を高温にして蒸発させ、この蒸気を当てて物質を薄膜状につける方法をいう。これは一般に真空中で行うことが多い。これを真空蒸着という。蒸発させる材料をタングステンのフィラメントにのせ、近くに蒸着させる基板を置く。フィラメントに電流を流して加熱して材料を蒸発させると、基板には材料の薄膜ができる。材料の蒸発には、電子ビーム照射、高周波誘導加熱あるいは放電加熱などの方法も用いられる。蒸着は金属の薄膜の生成に有用で、半導体素子における導体や抵抗体薄膜、磁気記録用のテープ、ディスクの金属磁性薄膜の製造などに用いられている。

［本間基文］

出典　小学館　日本大百科全書(ニッポニカ)

ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典

蒸着
じょうちゃく

「真空蒸着」のページをご覧ください。

出典　ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典

世界大百科事典（旧版）内の蒸着の言及

【集積回路】より

…(1)ウェーハー表面に特定の種類の薄膜を形成すること。これには，酸化，化学的膜形成，蒸着，スパッターリングなどの方法がある。(2)特定の種類のガス雰囲気中で高温状態にすること。…

※「蒸着」について言及している用語解説の一部を掲載しています。

出典｜株式会社平凡社「世界大百科事典（旧版）」