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電子ビーム蒸着 でんしビームじょうちゃく electron beam evaporation

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ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典の解説

電子ビーム蒸着
でんしビームじょうちゃく
electron beam evaporation

高真空中 ( 10-4 トル以下) で蒸着したい物質に電子ビームを照射することによって物質を加熱,蒸発させて試料上に付着させる蒸着法。ヒータを抵抗加熱して物質を蒸発させる従来の真空蒸着法に比べて,高融点の材料や酸化物などの蒸着も可能で,ヒータに含まれている不純物が蒸着膜中に混入することもない。

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出典|ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典
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