電子ビーム蒸着（読み）でんしビームじょうちゃく（その他表記）electron beam evaporation

ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典

電子ビーム蒸着
でんしビームじょうちゃく
electron beam evaporation

高真空中 ( 10^-4 トル以下) で蒸着したい物質に電子ビームを照射することによって物質を加熱，蒸発させて試料上に付着させる蒸着法。ヒータを抵抗加熱して物質を蒸発させる従来の真空蒸着法に比べて，高融点の材料や酸化物などの蒸着も可能で，ヒータに含まれている不純物が蒸着膜中に混入することもない。したがって抵抗加熱方式では蒸着できない材料の蒸着や高純度の薄膜が必要な場合の蒸着に用いられる。

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