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蒸着法 じょうちゃくほう vacuum evaporation

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ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典の解説

蒸着法
じょうちゃくほう
vacuum evaporation

金属あるいは非金属の小片を真空容器中で加熱蒸発させて,対向した基板の基面に凝着させ薄膜を作る方法。応用分野は多岐にわたり,各種の磁性薄膜・金属薄膜・半導体薄膜の形成手段として重要な方法である。

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出典|ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典
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