六弗化ブタジエン(読み)ロクフッカブタジエン

デジタル大辞泉 「六弗化ブタジエン」の意味・読み・例文・類語

ろくふっか‐ブタジエン〔ロクフツクワ‐〕【六×弗化ブタジエン】

弗素化合物の一。半導体集積回路の製造工程において、ドライエッチング洗浄剤として用いられる。大気寿命が短いため、環境負荷が小さく、地球温暖化係数が高いトリフルオロメタンなどの代替品となる。ヘキサフルオロ-1,3-ブタジエン。化学式C4F6

出典 小学館デジタル大辞泉について 情報 | 凡例

今日のキーワード

選挙公営

国または地方公共団体が個々の候補者の選挙費用の一部または全額を負担すること。選挙に金がかかりすぎ,政治腐敗の原因になっていることや,候補者の個人的な財力によって選挙に不公平が生じないようにという目的で...

選挙公営の用語解説を読む

コトバンク for iPhone

コトバンク for Android