EUVリソグラフィー（読み）イーユーブイリソグラフィー

デジタル大辞泉「EUVリソグラフィー」の意味・読み・例文・類語

極紫外線（EUV）を光源に用いるフォトリソグラフィー。10ナノメートルまたはそれより短い波長の光によって、従来のエキシマレーザーよりも半導体集積回路の微細化が可能となる。極紫外線リソグラフィー。極端紫外線リソグラフィー。EUVL（extreme ultraviolet lithography）。

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