デジタル大辞泉 「EUVリソグラフィー」の意味・読み・例文・類語 イーユーブイ‐リソグラフィー【EUVリソグラフィー】 極紫外線（EUV）を光源に用いるフォトリソグラフィー。10ナノメートルまたはそれより短い波長の光によって、従来のエキシマレーザーよりも半導体集積回路の微細化が可能となる。極紫外線リソグラフィー。極端紫外線リソグラフィー。EUVL（extreme ultraviolet lithography）。 出典 小学館デジタル大辞泉について 情報 | 凡例 Sponserd by
