EUVリソグラフィー（読み）イーユーブイリソグラフィー

デジタル大辞泉

イーユーブイ‐リソグラフィー【EUVリソグラフィー】

極紫外線（EUV）を光源に用いるフォトリソグラフィー。10ナノメートルまたはそれより短い波長の光によって、従来のエキシマレーザーよりも半導体集積回路の微細化が可能となる。極紫外線リソグラフィー。極端紫外線リソグラフィー。EUVL（extreme ultraviolet lithography）。

出典　小学館