水晶膜厚計(読み)スイショウマクアツケイ

デジタル大辞泉 「水晶膜厚計」の意味・読み・例文・類語

すいしょう‐まくあつけい〔スイシヤウ‐〕【水晶膜厚計】

水晶固有振動数変化から水晶表面に堆積した物質の厚さを計測する膜厚計蒸着スパッタリングによる薄膜の厚さの測定に用いられる。

出典 小学館デジタル大辞泉について 情報 | 凡例

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