スパッタリング sputtering

デジタル大辞泉の解説

スパッタリング（sputtering）

固体の表面に電界で加速された高エネルギーのイオン粒子を照射して衝突させると、その固体の表面の原子・分子が外へはじき出されて表面が損耗する現象。真空蒸着の困難な高融点・低蒸気圧の元素や酸化物の薄膜を作るのに利用される。

出典｜小学館

大辞林 第三版の解説

スパッタリング【sputtering】

薄膜を形成するための技術の一。金属などに不活性ガスを吹きつけ、それにより弾き出された分子を目的物の表面につける。均一で高品質の膜が形成され、半導体の製造過程などで用いられる。

出典｜三省堂