スパッタリング（その他表記）sputtering

翻訳｜sputtering

デジタル大辞泉 「スパッタリング」の意味・読み・例文・類語

スパッタリング（sputtering）

固体の表面に電界で加速された高エネルギーのイオン粒子を照射して衝突させると、その固体の表面の原子・分子が外へはじき出されて表面が損耗する現象。真空蒸着の困難な高融点・低蒸気圧の元素や酸化物の薄膜を作るのに利用される。

出典　小学館デジタル大辞泉について　情報 | 凡例

関連語 真空蒸着

今日のキーワード

ヒグラシ

昆虫綱半翅目(はんしもく)同翅亜目セミ科Cicadidaeの昆虫。体長は雄32～39ミリメートル、雌23～28ミリメートル。体は黒色で、茶色や緑色の斑紋(はんもん)がある。雄の腹部は大きく、空洞で、発...

ヒグラシの用語解説を読む