スパッタリング（その他表記）sputtering

デジタル大辞泉

スパッタリング（sputtering）

固体の表面に電界で加速された高エネルギーのイオン粒子を照射して衝突させると、その固体の表面の原子・分子が外へはじき出されて表面が損耗する現象。真空蒸着の困難な高融点・低蒸気圧の元素や酸化物の薄膜を作るのに利用される。

出典　小学館