スパッタリング(英語表記)sputtering

デジタル大辞泉「スパッタリング」の解説

スパッタリング(sputtering)

固体表面電界で加速された高エネルギーのイオン粒子を照射して衝突させると、その固体の表面の原子分子が外へはじき出されて表面が耗する現象。真空蒸着の困難な高融点・低蒸気圧元素や酸化物の薄膜を作るのに利用される。

出典 小学館デジタル大辞泉について 情報 | 凡例

今日のキーワード

LGBTQ

セクシュアルマイノリティ(性的少数者)を表す言葉で、性的指向や性自認を意味する英語の頭文字をとって作られた。Lesbian(レズビアン)は同性を恋愛の対象とする女性、Gay(ゲイ)は同性を恋愛の対象と...

LGBTQの用語解説を読む

コトバンク for iPhone

コトバンク for Android