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スパッタリング スパッタリング sputtering

翻訳|sputtering

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デジタル大辞泉の解説

スパッタリング(sputtering)

固体の表面に電界で加速された高エネルギーイオン粒子を照射して衝突させると、その固体の表面の原子分子が外へはじき出されて表面が損耗する現象。真空蒸着の困難な高融点・低蒸気圧元素や酸化物の薄膜を作るのに利用される。

出典|小学館 この辞書の凡例を見る
監修:松村明
編集委員:池上秋彦、金田弘、杉崎一雄、鈴木丹士郎、中嶋尚、林巨樹、飛田良文
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大辞林 第三版の解説

スパッタリング【sputtering】

薄膜を形成するための技術の一。金属などに不活性ガスを吹きつけ、それにより弾き出された分子を目的物の表面につける。均一で高品質の膜が形成され、半導体の製造過程などで用いられる。

出典|三省堂
(C) Sanseido Co.,Ltd. 編者:松村明 編 発行者:株式会社 三省堂 ※ 書籍版『大辞林第三版』の図表・付録は収録させておりません。 ※ それぞれの用語は執筆時点での最新のもので、常に最新の内容であることを保証するものではありません。

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