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スパッタリング sputtering

翻訳|sputtering

大辞林 第三版の解説

スパッタリング【sputtering】

薄膜を形成するための技術の一。金属などに不活性ガスを吹きつけ、それにより弾き出された分子を目的物の表面につける。均一で高品質の膜が形成され、半導体の製造過程などで用いられる。

出典 三省堂大辞林 第三版について 情報

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