イオンマイクロプローブ

最新 地学事典 「イオンマイクロプローブ」の解説

イオンマイクロプローブ

ion microprobe

二次イオン質量分析計の別名。試料表面を“イオンの微小探針”で分析する二次イオン質量分析法の分析形態を表す名称であり，この語が使われることが少なくない。

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参照項目：二次イオン質量分析法

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