イオン工学（読み）イオンこうがく

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イオン工学【イオンこうがく】

物質を，高真空中または真空に近い減圧状態でイオン化して，表面加工や薄膜形成その他の物質操作を行う技術の総称。ドライプロセスでの半導体加工や金属表面処理などの有力手法の一つ。たとえば，ごく低圧のアルゴンガスや反応性ガスをイオン化して加工物表面に衝突させ，表面原子をはじき飛ばすスパッタリングや，そこに別の金属などを付着させるスパッタ付着加工，ドライエッチング，イオン注入，多層膜形成など。用途によって，イオンを電圧によってさまざまな速度に加速したり，イオンがもつ電荷の効果を利用する。

出典　株式会社平凡社