ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典 「イオン注入」の意味・わかりやすい解説
イオン注入
イオンちゅうにゅう
ion implantation
出典 ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典について 情報
出典 ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典について 情報
出典 株式会社平凡社百科事典マイペディアについて 情報
(荒川泰彦 東京大学教授 / 桜井貴康 東京大学教授 / 2007年)
出典 (株)朝日新聞出版発行「知恵蔵」知恵蔵について 情報
…イオン注入ともいう。基体材料とは異なる元素のイオンを,数keV~数MeVのエネルギーに加速して基体表面に打ち込み,表面の改質を行う方法。…
…(3)特定の種類の元素をウェーハー,または表面の膜中に導入すること。これにはイオン注入と拡散がある。この元素はシリコンに対して異種なので,不純物といわれる。…
※「イオン注入」について言及している用語解説の一部を掲載しています。
出典|株式会社平凡社「世界大百科事典(旧版)」
東海沖から九州沖の海底に延びる溝状の地形(トラフ)沿いで、巨大地震発生の可能性が相対的に高まった場合に気象庁が発表する。2019年に運用が始まった。想定震源域でマグニチュード(M)6・8以上の地震が...
12/17 日本大百科全書(ニッポニカ)を更新
11/21 日本大百科全書(ニッポニカ)を更新
10/29 小学館の図鑑NEO[新版]動物を追加
10/22 デジタル大辞泉を更新
10/22 デジタル大辞泉プラスを更新