ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典 「イオン注入」の意味・わかりやすい解説
イオン注入
イオンちゅうにゅう
ion implantation
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…イオン注入ともいう。基体材料とは異なる元素のイオンを,数keV~数MeVのエネルギーに加速して基体表面に打ち込み,表面の改質を行う方法。…
…(3)特定の種類の元素をウェーハー,または表面の膜中に導入すること。これにはイオン注入と拡散がある。この元素はシリコンに対して異種なので,不純物といわれる。…
※「イオン注入」について言及している用語解説の一部を掲載しています。
出典|株式会社平凡社「世界大百科事典(旧版)」
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