サーミスター真空計（読み）サーミスターシンクウケイ

化学辞典 第2版

サーミスター真空計
サーミスターシンクウケイ
thermistor vacuum gauge

熱伝導真空計の一種．発熱体としてタングステン，白金などの細線のかわりにサーミスターを用いた真空計．現在，一般にはサーミスターとしてはMn-Ni-Coの三元系の酸化物焼結体を用いることが多い．圧力の測定方法は，定電圧をサーミスターに加えるとサーミスターの温度は気体圧力によって変化するので，サーミスターの温度をその抵抗値によって測定し，真空計として使用する．サーミスターの抵抗は温度係数が大きいので，これは精度のよい真空計といえる．測定範囲は4×10^－4～1.3×10² Pa である．

出典　森北出版「化学辞典（第2版）」