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熱伝導真空計 ねつでんどうしんくうけい thermal conductivity vacuum gauge

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ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典の解説

熱伝導真空計
ねつでんどうしんくうけい
thermal conductivity vacuum gauge

気体の熱伝導率が真空度 (圧力) によって変化することを利用した真空計ピラニ真空計では,タングステンや白金のフィラメントに一定の電流を流して加熱し,そこから失われる熱量が真空度によって異なることを利用して発熱体の温度変化による電気抵抗の変化を測定して真空度を知る。

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出典|ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典
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