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熱伝導真空計 ねつでんどうしんくうけいthermal conductivity vacuum gauge

ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典の解説

熱伝導真空計
ねつでんどうしんくうけい
thermal conductivity vacuum gauge

気体の熱伝導率真空度 (圧力) によって変化することを利用した真空計。ピラニ真空計では,タングステンや白金のフィラメントに一定の電流を流して加熱し,そこから失われる熱量が真空度によって異なることを利用して発熱体の温度変化による電気抵抗の変化を測定して真空度を知る。測定範囲は 10~10-3 Torrであるが,圧力変化だけなら 10-6 Torrも測定できる (1Torr≒133Pa) 。サーミスタ真空計では,フィラメントの代りにサーミスタを使う。抵抗線の温度変化を熱電対で測定するのが熱電対真空計である。構造が簡単なので,電力用の真空開閉器などに用いられる。高真空になると,熱伝導率の影響よりも真空度に関係しない熱放射の影響のほうが大きくなるので,10-3 Torr以下の高真空の測定はできない。

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