プレーナートランジスタ（読み）ぷれーなーとらんじすた（その他表記）planar transistor

日本大百科全書(ニッポニカ)

プレーナートランジスタ
ぷれーなーとらんじすた
planar transistor

エミッタ、ベース、コレクタの各層が平坦(へいたん)な結晶表面の下につくられ、対応する電極が結晶の表面上から取り出せるようになっているトランジスタ。拡散トランジスタの一種。このトランジスタは、平坦な結晶ウェハー上にいくつも作り付け、表面から電極をすべて引き出すことができるので、バイポーラIC（双極性集積回路）の基本となっている。ウェハー表面の酸化被膜に光学蝕刻(しょっこく)法を用いて一度に窓をあけ、そこから不純物を導入したり電極付けを行ったりする方法をとるが、ウェハーに多くのトランジスタを一括してつくるため、多量生産が容易である。また、トランジスタが平面下に埋め込まれ、表面は安定な酸化膜で覆われているので、漏れ電流や雑音が小さく、水分などの外気に対して安定で信頼度が高い。現在市販されている大部分のトランジスタはこの型によっている。

［右高正俊］

出典　小学館　日本大百科全書(ニッポニカ)