フルオロメタンとは？意味や使い方

デジタル大辞泉「フルオロメタン」の意味・読み・例文・類語

メタンを構成する水素原子1個を弗素原子1個と置換した化合物。ハイドロフルオロカーボン（HFC）に分類される代替フロンの一。半導体集積回路の製造工程において、ドライエッチングの洗浄剤として用いられる。モノフルオロメタン。弗化メチル。HFC-41。化学式CH₃F

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