走査型透過電子顕微鏡(読み)ソウサガタトウカデンシケンビキョウ

デジタル大辞泉 「走査型透過電子顕微鏡」の意味・読み・例文・類語

そうさがたとうか‐でんしけんびきょう〔ソウサがたトウクワデンシケンビキヤウ〕【走査型透過電子顕微鏡】

電子顕微鏡の一。薄膜試料を透過した電子の円環状の透過波または回折波を検出して、像を得る。走査型電子顕微鏡透過型電子顕微鏡両方特徴をあわせもち、結晶構造解析や元素分析にも利用される。走査透過電子顕微鏡。STEMステム(scanning transmission electron microscope)。

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