オプティカルフラット（その他表記）optical flat

改訂新版　世界大百科事典

オプティカルフラット
optical flat

透明ガラス板で作られ，その片面がとくに精度のよい平面に仕上げられたものをいう。光の干渉を応用して平面度の測定に用いられる。面の精度はふつう基準面との間に作られるニュートンリングで評価され，平面からの外れの最大値は0.05～0.3μm程度であるが，最近は0.005μm程度の高精度のものも作られている。透明ガラス板の両面が平面かつ平行に作られたものはオプティカルパラレルoptical parallelと呼ばれ，光の干渉による平面度，平行度の測定に用いられる。両面の平行からの外れ，すなわち厚さの最大差は0.2～0.4μm程度である。規定の厚さをもつオプティカルパラレルの組合せは，マイクロメーターの較正にも使用される。
執筆者：田中 俊一

出典　株式会社平凡社「改訂新版　世界大百科事典」