クライオポンプ（英語表記）cryo pump

ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典

クライオポンプ
cryo pump

極低温に冷却した面 (クライオ面) に入射してきた気体分子を凝縮させることにより捕獲し，排気を行う真空ポンプ。 100Kレベルと 20Kレベルの2段の到達温度を発生する小型ヘリウム冷凍機の開発が進み，それを用いた2種類の温度レベルのクライオ面をもつポンプが数多く使われるようになってきた。ポンプ内に油を使用していないので，清浄な真空が得られ，半導体産業などで需要が高まっている。クライオ面として研磨されたなめらかな面，あるいは多孔質吸着剤の表面を用いるが，後者は特にクライオソープションポンプ cryosorption pumpとも呼ばれている。 10^-1Pa 以下の圧力領域で作動させ，到達真空度は 10^-8Pa 程度である。通常の真空装置の残留ガスの主成分である水蒸気に対して非常に大きな排気速度 (数百～数万l/s) をもつ。現在のところ清浄な極高真空作成のための有力なポンプの一つである。

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