イオン工学(読み)イオンこうがく

百科事典マイペディア「イオン工学」の解説

イオン工学【イオンこうがく】

物質を,高真空中または真空に近い減圧状態でイオン化して,表面加工や薄膜形成その他の物質操作を行う技術の総称ドライプロセスでの半導体加工や金属表面処理などの有力手法の一つ。たとえば,ごく低圧のアルゴンガスや反応性ガスをイオン化して加工物表面に衝突させ,表面原子をはじき飛ばすスパッタリングや,そこに別の金属などを付着させるスパッタ付着加工,ドライエッチングイオン注入,多層膜形成など。用途によって,イオンを電圧によってさまざまな速度に加速したり,イオンがもつ電荷の効果を利用する。

出典 株式会社平凡社百科事典マイペディアについて 情報

関連語をあわせて調べる

今日のキーワード

緑酒

〘名〙 緑色の酒。よい酒。うまい酒の色としていう。※菅家文草(900頃)五・雨晴対月「緑酒猶催醒後盞、珠簾未レ下暁来鈎」※一高寮歌・嗚呼玉杯に花うけて(1902)〈矢野勘治〉「嗚呼玉杯に花うけて 緑酒...

続きを読む

コトバンク for iPhone

コトバンク for Android