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イオン工学 イオンこうがく

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百科事典マイペディアの解説

イオン工学【イオンこうがく】

物質を,高真空中または真空に近い減圧状態でイオン化して,表面加工や薄膜形成その他の物質操作を行う技術の総称。ドライプロセスでの半導体加工や金属表面処理などの有力手法の一つ。

出典|株式会社日立ソリューションズ・クリエイト
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