ゲッターポンプ

デジタル大辞泉

ゲッター‐ポンプ（getter pump）

真空装置中から不活性な気体を取り除くために、ゲッターとしてはたらく金属で気体をイオン化して吸着・排除するポンプ。

出典　小学館

化学辞典 第2版

ゲッターポンプ
ゲッターポンプ
getter pump

多量の活性金属の蒸着膜をつくり，それに気体を吸着させることでポンプ作用をするものをいう．現象的にはこのほかにゲッターイオンポンプ，スパッターイオンポンプ，ソープションポンプ，クライオポンプもゲッターポンプの一種である．ゲッターポンプの材料としてはチタンがもっとも多く使われている．チタンの蒸着膜を液体窒素で冷却すると，排気速度，到達圧力の改善に有効である．ゲッターポンプの排気機構は，金属膜と活性気体間の化学吸着であるので，不活性気体に対しては排気能力がない．

出典　森北出版「化学辞典（第2版）」

ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典

ゲッターポンプ

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