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スパッタイオンポンプ スパッタイオンポンプ sputter ion pump

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ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典の解説

スパッタイオンポンプ
スパッタイオンポンプ
sputter ion pump

放電により気体分子をイオン化して,それを陰極に捕集するとともに,陰極そのものにチタンを用いることによって,ゲッターポンプとしての作用ももたせた真空ポンプ。陰極のチタンにイオン化した粒子が衝突した際に,運動エネルギーを与えられたチタン原子が固体表面から飛び出すスパッタリング現象により,陰極の表面が常に新鮮なチタン面になることと,飛出したチタン原子がステンレス鋼などでつくられた陽極に付着してチタン膜を形成することを利用してゲッター作用を高めている。

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出典|ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典
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