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気相成長法 きそうせいちょうほう

世界大百科事典内の気相成長法の言及

【薄膜】より

…一方,非平衡過程で形成された薄膜には,異常構造,非化学量論性などが現れやすく,品質に問題が生ずることもあるが,反面,新しい性質が生まれる可能性もある。 準平衡過程による薄膜製造法の代表は気相成長法(CVD法。chemical vapor depositionの略)である。…

※「気相成長法」について言及している用語解説の一部を掲載しています。

出典|株式会社日立ソリューションズ・クリエイト
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