最新 地学事典 の解説
そうさがたオージェでんしけんびきょう
走査型オージェ電子顕微鏡
scanning auger electron microscope
オージェ電子分光法（AES: auger electron spectroscopy）は，試料に電子線を照射したときに放出されるオージェ電子（原子の内殻電子が励起された際，外殻から放出される電子）のエネルギーを測定し，試料表面の元素組成および元素分布を得る分析手法である。これに電子線走査（電子線を用いて試料面内をスキャンする）の機能を備えたものが走査型オージェ電子顕微鏡と呼ばれている。真空中で測定対象に電子線またはX線を照射し，放出されるオージェ電子の速度を原子固有の束縛エネルギーを用いて計算して，元素の検出と分析が行われる。同時に複数の元素分析が可能である。
執筆者：藪崎 志穂
参照項目：走査型電子顕微鏡
出典 平凡社「最新 地学事典」最新 地学事典について 情報
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