電子エネルギー損失分光法(読み)でんしエネルギーそんしつぶんこうほう

最新 地学事典 の解説

でんしエネルギーそんしつぶんこうほう
電子エネルギー損失分光法

electron energy loss spectroscopy

EELSと略記透過電子顕微鏡において,透過電子のエネルギーを分光することで試料の組成分析や元素の状態分析を行なう手法。試料中原子の内殻電子を励起した入射電子はその分のエネルギー損失を起こし,分光器で得られるスペクトル中にコアロスピークとなって現れる。その位置や微細構造から元素の判別とともにその価数や配位数などの情報が得られる。また通常のX線組成分析では難しい軽元素の検出に優れている。

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参照項目:透過型電子顕微鏡

出典 平凡社「最新 地学事典」最新 地学事典について 情報

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