マイクロメカトロニクス（読み）マイクロメカトロニクス（その他表記）micromechatronics，microelectromechanics

デジタル大辞泉

マイクロメカトロニクス（micromechatronics）

半導体製造に用いられる微細加工技術を応用し、マイクロマシンなどの超小型の機械システムをつくる技術の総称。

出典　小学館

ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典

マイクロ・メカトロニクス
マイクロメカトロニクス
micromechatronics，microelectromechanics

高度な IC製作技術を利用して数十～100μmという微小機械の製造，操作，制御を行う技術分野。さらに最近ではイオンビームを利用して，数十μmの部品の加工，組立てを行う技術も開発され，機械分野だけでなく医学，生物分野にもマイクロマシンプロジェクトとして拡大しつつある。素材としても，シリコンだけでなく，ポリイミドなどの高分子材料，水晶などの圧電材料，タングステンなどの特殊な金属材料も対象となっている。

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