ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典 の解説 マイクロ・メカトロニクスマイクロメカトロニクスmicromechatronics,microelectromechanics 高度な IC製作技術を利用して数十~100μmという微小機械の製造,操作,制御を行う技術分野。さらに最近ではイオンビームを利用して,数十μmの部品の加工,組立てを行う技術も開発され,機械分野だけでなく医学,生物分野にもマイクロマシンプロジェクトとして拡大しつつある。素材としても,シリコンだけでなく,ポリイミドなどの高分子材料,水晶などの圧電材料,タングステンなどの特殊な金属材料も対象となっている。 出典 ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典について 情報