化学辞典 第2版 「マイクロ波放電」の解説
マイクロ波放電
マイクロハホウデン
microwave discharge
普通，数十～数千 MHz のマイクロ波によって起こる放電をいう．2450 MHz のマイクロ波放電は，窒素，水素，アルゴンなどの活性種の生成，気体反応などの研究に用いられている．Kr，Xeなど希ガスを封入した放電管のマイクロ波放電は，真空紫外線用光源として用いられる．
出典 森北出版「化学辞典（第2版）」化学辞典 第2版について 情報