マイクロ波放電（読み）マイクロハホウデン

化学辞典 第2版

マイクロ波放電
マイクロハホウデン
microwave discharge

普通，数十～数千 MHz のマイクロ波によって起こる放電をいう．2450 MHz のマイクロ波放電は，窒素，水素，アルゴンなどの活性種の生成，気体反応などの研究に用いられている．Kr，Xeなど希ガスを封入した放電管のマイクロ波放電は，真空紫外線用光源として用いられる．

出典　森北出版「化学辞典（第2版）」