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オプティカルフラット optical flat

世界大百科事典 第2版の解説

オプティカルフラット【optical flat】

透明ガラス板で作られ,その片面がとくに精度のよい平面に仕上げられたものをいう。光の干渉を応用して平面度の測定に用いられる。面の精度はふつう基準面との間に作られるニュートンリングで評価され,平面からの外れの最大値は0.05~0.3μm程度であるが,最近は0.005μm程度の高精度のものも作られている。透明ガラス板の両面が平面かつ平行に作られたものはオプティカルパラレルoptical parallelと呼ばれ,光の干渉による平面度,平行度の測定に用いられる。

出典|株式会社日立ソリューションズ・クリエイト世界大百科事典 第2版について | 情報

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