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ドライプロセス

百科事典マイペディアの解説

ドライプロセス

半導体加工や光ディスクなどへの表面薄膜蒸着その他の材料加工を,ガス中の反応を用いたり,高真空中に原子や分子あるいはイオンなどを飛ばして行うプロセス技術の総称。溶液中での化学反応処理を中心に材料加工を行うウェットプロセスと対比していう。
→関連項目イオン工学

出典 株式会社日立ソリューションズ・クリエイト百科事典マイペディアについて 情報

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