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ビーム・リード集積回路 ビーム・リードしゅうせきかいろbeam lead integrated circuit

ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典の解説

ビーム・リード集積回路
ビーム・リードしゅうせきかいろ
beam lead integrated circuit

半導体集積回路で,素子の電気的分離方式にビーム・リード (梁配線) 方式を用いたものをいう。1枚のシリコン ( Si ) 基板上にトランジスタダイオードなど各素子を製作し,酸化膜 ( SiO2 ) 上で厚膜配線を行う。こののち,素子間の基板を裏面から化学的に溶解させて空間部分をつくり,素子を互いに絶縁する。配線の金属の厚みと幅を大にして機械的強度をもたせている。

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