気相中のモノマーガスを放電によりプラズマ状態として活性化させ,薄膜状高分子を得る方法.特定の官能基を必要とせず,有機化合物,有機金属化合物,無機化合物いずれにおいてもガス化可能な化合物であれば幅広く用いることができる.一般的には,低圧グロー放電で得られる非平衡プラズマ(カチオン,アニオン,電子,フリーラジカル,励起および中性化学種の混合物)が重合に用いられる.プラズマ重合で得られたフィルムは高度に架橋していることが多く,耐熱性,耐摩耗性,耐薬品性にすぐれ,基板への接着力も強い.
出典 森北出版「化学辞典(第2版)」化学辞典 第2版について 情報
…いずれも固体表面が関与したプロセスで,化学析出,化学蒸発,表面改質に分類される。 化学析出は,原料気体を低圧放電させプラズマ化すると,基板上に薄膜が生成する過程をいい,有機の高分子膜が生成する場合はプラズマ重合とも呼ばれる。太陽電池や複写機などへの応用が可能な材料であるアモルファスシリコンの製造がこの手法を用いて行われている。…
※「プラズマ重合」について言及している用語解説の一部を掲載しています。
出典|株式会社平凡社「世界大百科事典(旧版)」
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