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プレーナ型トランジスタ プレーナがたトランジスタplanar transistor

ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典の解説

プレーナ型トランジスタ
プレーナがたトランジスタ
planar transistor

酸化膜を選択拡散のマスクとして用い,半導体ウエハの片面から適当な不純物を必要な部分にだけ拡散させることにより,ベースとエミッタをつくったトランジスタ。メサ型トランジスタが台形状をしているのに対して平坦な (planar) 構造をしている。シリコンの表面,特にp-n接合部が製作工程中に酸化膜で保護され,素子完成後も酸化膜が保護膜として働くので,メサ型トランジスタに比べて低周波での雑音が少く低電流での直流増幅率が大きいという長所をもつほか,素子の安定度,信頼度,量産性が非常にすぐれている。これにさらに改良を加えてコレクタの直列抵抗を低くしたのがエピタキシャル・プレーナ型トランジスタ三重拡散プレーナ型トランジスタであり,前者は現在,プレーナ型トランジスタの標準的構造となっている。

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